RV 油封式真空旋葉泵
RV 系列旋轉式葉片泵基于超過 75 年的經驗 和全新設計計劃以產生小型油封旋轉式葉片泵 的極限范圍。
這些 堅固耐用的真空泵提供卓越的極限性能，同時擁有良好的 抽取速度以及出色的蒸汽處理能力，而且運行安靜。Edwards RV 系列真空泵已售出超過 200,000 臺， 為行業樹立了新標準。這一成功基于在廣泛的應用和環境中 經過現場驗證的設計和可靠性。
- 高蒸汽處理能力：
更快的制程
- 出色的微粒處理能力：
高可靠性
- 快動式可靠入口閥可實現防反吸保護：
安全制程和系統
- 模式選擇器和雙位氣鎮：
經過專門配置以滿足您的真空需求
- 針對便于維護而設計：
無計劃外停機
- 運轉安靜：
工作環境更好
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主要特性和優勢
濕泵
適合“濕式”應用的 Edwards RV 泵的主要優點：
- 任何旋轉式葉片泵的最高蒸汽泵送能力
- 獨特的模式選擇器開關意味著泵可在高流速下保持潤滑
- 任何旋轉式葉片泵的最高氣鎮流量提供 220g/hr（在 RV12 上為 290g/hr）的水蒸汽處理能力
- 配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內
對于溶劑/蒸汽與氟橡膠 (FKM) 密封不兼容的應用，提供腈 (Buna-N) 轉換套件。另外，泵送大量氧化劑時，可以訂購備有 PFPE 的泵。
多塵
適合“多塵”應用的 Edwards RV 泵的主要優點
- 一流的防反吸保護可避免灰塵回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態，從而消除壓力波動
在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內快速關閉
- 大直徑油路 (3-5mm) 可避免堵塞
一些競爭對手的泵的油路直徑不足 1mm
Edwards 的 RV 泵系列利用半導體行業的 PVD 和 CVD 應用經驗而設計，適用于多塵應用。
清潔/干燥
適合清潔/干燥應用的 Edwards RV 泵的主要優點
- 獨特的模式選擇器開關意味著泵可在高流速下保持潤滑
- 配備可選的油回收套件，可確保在高流量下，油保持在泵內
- 一流的防反吸保護可避免油霧回流到制程中
通過油壓來控制打開狀態，從而消除壓力波動
在泵由于傾泄閥而停止運行的 0.4 秒內快速關閉
獲得專利的模式選擇器意味著該泵在高真空應用和高吞吐量應用中都適用。對于后一種應用，可以安裝一個可選的油回收套件，以便讓泵在高吞吐量下連續運轉而不會將所有油排到排氣管中。
氧化劑
適合泵送氧化劑的 Edwards RV 泵的主要優點：
- 任何旋轉式葉片泵的最高氣鎮流量
允許稀釋泵送的氣體以便最大限度地減少油的氧化
- 提供 PFPE 選配型
適合泵送氧氣和鹵代化合物
RV 泵的高氣鎮允許更高的氧氣流量，同時保持稀釋到爆炸下限以下。在與可選的油回收套件配合使用時可防止氣鎮將所有油吹入到廢氣，與備有 PFPE 的泵配合使用時可避免油被氧化，RV 泵是適合泵送氧氣的可靠泵。同樣，這些特性使得 RV 泵適用于泵送其他氧化劑，如鹵素和鹵代化合物。對于這些化合物，著火/爆炸不是問題，但氣鎮仍可用于稀釋以保護油和軸承。應使用 PFPE 以延長油的壽命。
